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四甲基氢氧化铵

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四甲基氢氧化铵(Tetramethyl ammonium hydroxide,TMAH)又称为氢氧化四甲铵、四甲基氢氧化胺,无色至淡黄色液体,是最强的有机碱，极易吸潮，有一定的氨气味。在电子行业中，广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等